有機(jī)廢氣凈化的熱氧化法是基于廢氣中有機(jī)化合物可以燃燒氧化的特性，其目的是:通過(guò)燃燒將廢氣中可氧化的組分轉(zhuǎn)化為無(wú)害物質(zhì)。在廢氣中含CHO化合物的情況下，即轉(zhuǎn)化為CO2和HzO。

當(dāng)然，由于有機(jī)廢氣中所含有的有害物質(zhì)組分的不同、濃度不同、燃燒過(guò)程的溫度控制因素的不同及不同的燃燒方式，存在各種熱氧化及熱分解過(guò)程。燃燒過(guò)程始終伴隨著熱量的產(chǎn)生，不同的熱量回收和利用方式，構(gòu)成了不同類(lèi)型的燃燒凈化方式和燃燒凈化裝置。

蓄熱燃燒RTO:是在熱氧化裝置中加入蓄熱式熱交換器，預(yù)熱VOC廢氣,再進(jìn)行氧化反應(yīng)，蓄熱式熱交換器的熱回收率已能達(dá)到95%以上。

催化燃燒CO:采用催化劑可以降低有機(jī)廢氣氧化所需的活化能，并提高反應(yīng)速率，從而可在較低的溫度下進(jìn)行氧化燃燒，使有機(jī)物轉(zhuǎn)化為無(wú)害物質(zhì)。